课题
在全球节电的大潮中,LED快速普及,伴随微电子LED和迷你LED等新器件的上市,作为其衬底主流的蓝宝石晶圆的降低成本呼声越来越高。降低蓝宝石晶圆加工成本的课题之一是,在晶圆的倒角加工中,延长砂轮的修整周期,进而提高砂轮的使用寿命。

解決方法
着眼于曾是硅晶圆倒角用金属结合剂一大课题的修复功能,我们通过优化磨粒种类、结合剂硬度的组合,解决了砂粒敌不过高硬度材料时的“钝化”问题,以及通过始终保持砂粒的锐利解决了工件磨削碎屑附着到砂轮表面上的“堵眼”问题。

课题

使用工具

蓝宝石晶圆倒角用“MFX”金属结合剂砂轮

蓝宝石晶圆倒角用“MFX”金属结合剂砂轮

可加工范围
粒度规格:#400~#3000 ※复合粒度也可
外径  :~202D
内 径 :H6公差(其他公差请咨询)
动平衡 :≧0.1g @Min.
凹槽形状:公差≧0.5度
凹槽数 :〜10个(根据凹槽形状不同,也可为10个以上)

  • 考虑到蓝宝石的材料特性,通过优化砂粒和结合剂特性的组合,大幅削减了“钝化”、“堵眼”现象
  • 磨削时可以形成良好的结合剂尾部形态,有利于切屑的排出和高效的切削液供应,提高砂轮的使用寿命
  • 连续加工中对于蓝宝石晶圆可以维持优异的直径变动值、定向平面直线性,相比以往产品,使用寿命提高至约3倍